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adf:cvd [2023/10/06 00:26] – [CVD模拟的参数设置] liu.jun | adf:cvd [2024/02/26 16:51] – liu.jun | ||
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- | ======ReaxFF-Ge(001)上的氧化铝薄膜 | + | ======ReaxFF-Ge(001)上的氧化铝薄膜的化学气相沉积模拟====== |
=====化学气相沉积===== | =====化学气相沉积===== | ||
- | 从模拟的角度来看,化学气相沉积 (CVD) 或原子层沉积 (ALD) 与涉及表面与其上方气相物质相互作用的其他过程类似。典型“表面-气相”相互作用,还包括物理气相沉积(PVD)、固-气相非均相催化以及等离子体-表面反应等。因此,原则上可以使用类似于下面介绍的 CVD 示例应用的设置来研究所有这些过程。 | + | 从模拟的角度来看,化学气相沉积 (CVD) 或原子层沉积 (ALD) ,与涉及表面及其上方气相物质相互作用的其他过程类似。典型“表面-气相”相互作用,还包括物理气相沉积(PVD)、固-气相非均相催化以及等离子体-表面反应等。因此,原则上可以使用类似于下面介绍的 CVD 示例应用的设置来研究所有这些过程。 |
由于以下原因,模拟“表面-气相”相互作用通常涉及相当大的计算: | 由于以下原因,模拟“表面-气相”相互作用通常涉及相当大的计算: | ||
行 16: | 行 16: | ||
表面模型的局部温度可能会因粒子通量过强,或某些加速方法而显著升高。因此,需要监测模拟的温度峰值,出现异常时需要调整,以避免不切实际的副反应。 | 表面模型的局部温度可能会因粒子通量过强,或某些加速方法而显著升高。因此,需要监测模拟的温度峰值,出现异常时需要调整,以避免不切实际的副反应。 | ||
====参数准确性与体系的演化==== | ====参数准确性与体系的演化==== | ||
- | 模型的合理性,对体系的演化至关重要。虽然此类长时间模拟的模型描述,仅限于经验力场或机器学习势,但建议在开始任何实际模拟之前,针对相关反应步骤涉及的力场参数实际上需要考虑是否适合用于CVD模型。虽然下面讨论的示例使用现成的 ReaxFF 力场参数来模拟现实的化学过程,但一般情况下不能如此现成。尤其是反应势垒高度的相对差异会影响模拟过程中发生的化学过程,随之显著改变体系演化的情况。因此,用户有责任使用经过充分验证的模型参数来进行这类模拟。 | + | 模型的合理性,对体系的演化至关重要。虽然此类长时间模拟的模型描述,仅限于经验力场或机器学习势,但建议在开始任何实际模拟之前,针对相关反应步骤涉及的力场参数实际上需要考虑是否适合用于 CVD 模型。虽然下面讨论的示例使用现成的 ReaxFF 力场参数来模拟现实的化学过程,但一般情况下不能如此现成。尤其是反应势垒高度的相对差异会影响模拟过程中发生的化学过程,随之显著改变体系演化的情况。因此,用户有责任使用经过充分验证的模型参数来进行这类模拟。 |
=====1,模型简介===== | =====1,模型简介===== | ||
行 30: | 行 30: | ||
在“衬底”上方可以适当增加一个区域,设定为 NVT 系综,从而可以起到散热器的作用。 | 在“衬底”上方可以适当增加一个区域,设定为 NVT 系综,从而可以起到散热器的作用。 | ||
====分子枪==== | ====分子枪==== | ||
- | 粒子从表面上方几纳米的区域内的随机位置入射,并且速度矢量指向下方。 | + | 粒子从表面上方几纳米的区域内的随机位置入射,并且设定速度矢量指向下方。 |
====粒子平移==== | ====粒子平移==== | ||
为了节省粒子飞行期间的模拟步骤,粒子被平移到其飞行路径中的第一个撞击点附近,然后将其实际放置到该撞击点附近的模拟Box中。 | 为了节省粒子飞行期间的模拟步骤,粒子被平移到其飞行路径中的第一个撞击点附近,然后将其实际放置到该撞击点附近的模拟Box中。 | ||
行 45: | 行 45: | ||
{{ : | {{ : | ||
- | 将最底层2层 Ge原子创建为 | + | 将最底层2层 Ge原子创建为 |
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行 61: | 行 61: | ||
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- | 只对Thermo这个区域设置NVT系综(不同系综的设置参考:[[adf: | + | 只对 Thermo 这个区域设置 NVT 系综(不同系综的设置参考:[[adf: |
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- | 如此,整个体系将会被Thermo区域保温为接近500K。因为后面正式模拟会采用 fbMC,因此弛豫过程中,我们也同样采用 fbMC(fbMC的参数含义、fbMC本身的物理意义,请参考:[[adf: | + | 如此,整个体系将会被 Thermo 区域保温为接近 500K。因为后面正式模拟会采用 fbMC,因此弛豫过程中,我们也同样采用 fbMC(fbMC 的参数含义、fbMC 本身的物理意义,请参考:[[adf: |
{{ : | {{ : | ||
- | 我们特意在 fbMC 阶段使用比恒温器稍低的温度(450 vs 500 K),以避免模拟过程中温度峰值过高。这种选择是合理的,因为我们对系统的化学演化感兴趣。此外,由于撞击粒子流增加了系统的能量,因此在这种情况下保持温度稳定比精确的热力学采样更重要。在其他应用中,fbMC温度和fbMC步长对实际观测到的温度的影响需要用户验证。 | + | 我们特意在 fbMC 阶段使用比恒温器稍低的温度(450 vs 500 K),以避免模拟过程中温度峰值过高。这种选择是合理的,因为我们对系统的化学演化感兴趣。此外,由于撞击粒子流增加了系统的能量,因此在这种情况下保持温度稳定比精确的热力学采样更重要。在其他应用中,fbMC 温度和 fbMC 步长对实际观测到的温度的影响需要用户验证。 |
保存并运行作业。并注意检查弛豫的结果是否符合要求(参考:[[adf: | 保存并运行作业。并注意检查弛豫的结果是否符合要求(参考:[[adf: | ||
行 83: | 行 83: | ||
点击Yes, new job,**另存一个作业,避免覆盖前面弛豫的作业**。 | 点击Yes, new job,**另存一个作业,避免覆盖前面弛豫的作业**。 | ||
- | ====CVD模拟的参数设置==== | + | ====CVD 模拟的参数设置==== |
首先调整 MD 和 fbMC 的设置: | 首先调整 MD 和 fbMC 的设置: | ||
* Models → MD → Number of steps: 15000000 | * Models → MD → Number of steps: 15000000 | ||
行 91: | 行 91: | ||
在现有模型上空创建需要入射的分子,这里是[[adf: | 在现有模型上空创建需要入射的分子,这里是[[adf: | ||
- | Model → region分别为O2和AlH3创建Region: | + | Model → region 分别为 O2 和 AlH3 创建 Region: |
{{ adf: | {{ adf: | ||
- | Model → Molecule Gun 入射设置(点击两次+,分别设置AlH$_3$、O$_2$的入射参数)如下: | + | Model → Molecule Gun 入射设置(点击两次+,分别设置 AlH$_3$、O$_2$ 的入射参数)如下: |
{{ adf: | {{ adf: | ||
行 104: | 行 104: | ||
* Start step:开始入射,注意与前面fbMC设置的7000保持一致 | * Start step:开始入射,注意与前面fbMC设置的7000保持一致 | ||
* Stop step:即停止入射的步数,总步数150万,125万步的时候停止入射,后面25万步退火、充分扩撒、二次反应、演化等 | * Stop step:即停止入射的步数,总步数150万,125万步的时候停止入射,后面25万步退火、充分扩撒、二次反应、演化等 | ||
- | * Fractional coords box:入射分子初始随机出现的范围,图中设置表示X、Y坐标随机,Z则在Cell之外45-49倍C的区域。 | + | |
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* Rotate:允许转动 | * Rotate:允许转动 | ||
* Velocity direction:选中两个原子,点击加号,则入射方向为第一个原子指向第二个原子,也可以创建虚原子来指定方向。如果不指定,则方向完全随机 | * Velocity direction:选中两个原子,点击加号,则入射方向为第一个原子指向第二个原子,也可以创建虚原子来指定方向。如果不指定,则方向完全随机 | ||
行 117: | 行 118: | ||
表示任意粒子,只要跑出z方向±150 C尺寸的范围,即从体系中移除。 | 表示任意粒子,只要跑出z方向±150 C尺寸的范围,即从体系中移除。 | ||
- | 值得注意的是,系综的设置,我们仍然保留了前面弛豫过程的设置,即只是Thermo设置了温度,其他区域的原子则由于有了初始的运动速度、能量等数据,自由演变即可,底部Thermo仍然充当了冷却装置的角色。 | + | 值得注意的是,系综的设置,我们仍然保留了前面弛豫过程的设置,即只是Thermo设置了温度,其他区域的原子则由于有了初始的运动速度、能量等数据,自由演变即可,底部Thermo仍然充当了冷却装置的角色,将体系向500K方向冷却。 |
保存作业并运行({{: | 保存作业并运行({{: |