用户工具

站点工具


adf:cvd

差别

这里会显示出您选择的修订版和当前版本之间的差别。

到此差别页面的链接

两侧同时换到之前的修订记录前一修订版
后一修订版
前一修订版
后一修订版两侧同时换到之后的修订记录
adf:cvd [2023/10/06 00:26] – [CVD模拟的参数设置] liu.junadf:cvd [2024/02/26 16:51] liu.jun
行 1: 行 1:
-======ReaxFF-Ge(001)上的氧化铝薄膜 CVD 形成模拟======+======ReaxFF-Ge(001)上的氧化铝薄膜的化学气相沉积模拟======
 =====化学气相沉积===== =====化学气相沉积=====
-从模拟的角度来看,化学气相沉积 (CVD) 或原子层沉积 (ALD) 与涉及表面其上方气相物质相互作用的其他过程类似。典型“表面-气相”相互作用,还包括物理气相沉积(PVD)、固-气相非均相催化以及等离子体-表面反应等。因此,原则上可以使用类似于下面介绍的 CVD 示例应用的设置来研究所有这些过程。+从模拟的角度来看,化学气相沉积 (CVD) 或原子层沉积 (ALD) 与涉及表面其上方气相物质相互作用的其他过程类似。典型“表面-气相”相互作用,还包括物理气相沉积(PVD)、固-气相非均相催化以及等离子体-表面反应等。因此,原则上可以使用类似于下面介绍的 CVD 示例应用的设置来研究所有这些过程。
  
 由于以下原因,模拟“表面-气相”相互作用通常涉及相当大的计算: 由于以下原因,模拟“表面-气相”相互作用通常涉及相当大的计算:
行 16: 行 16:
 表面模型的局部温度可能会因粒子通量过强,或某些加速方法而显著升高。因此,需要监测模拟的温度峰值,出现异常时需要调整,以避免不切实际的副反应。 表面模型的局部温度可能会因粒子通量过强,或某些加速方法而显著升高。因此,需要监测模拟的温度峰值,出现异常时需要调整,以避免不切实际的副反应。
 ====参数准确性与体系的演化==== ====参数准确性与体系的演化====
-模型的合理性,对体系的演化至关重要。虽然此类长时间模拟的模型描述,仅限于经验力场或机器学习势,但建议在开始任何实际模拟之前,针对相关反应步骤涉及的力场参数实际上需要考虑是否适合用于CVD模型。虽然下面讨论的示例使用现成的 ReaxFF 力场参数来模拟现实的化学过程,但一般情况下不能如此现成。尤其是反应势垒高度的相对差异会影响模拟过程中发生的化学过程,随之显著改变体系演化的情况。因此,用户有责任使用经过充分验证的模型参数来进行这类模拟。+模型的合理性,对体系的演化至关重要。虽然此类长时间模拟的模型描述,仅限于经验力场或机器学习势,但建议在开始任何实际模拟之前,针对相关反应步骤涉及的力场参数实际上需要考虑是否适合用于 CVD 模型。虽然下面讨论的示例使用现成的 ReaxFF 力场参数来模拟现实的化学过程,但一般情况下不能如此现成。尤其是反应势垒高度的相对差异会影响模拟过程中发生的化学过程,随之显著改变体系演化的情况。因此,用户有责任使用经过充分验证的模型参数来进行这类模拟。
  
 =====1,模型简介===== =====1,模型简介=====
行 30: 行 30:
 在“衬底”上方可以适当增加一个区域,设定为 NVT 系综,从而可以起到散热器的作用。 在“衬底”上方可以适当增加一个区域,设定为 NVT 系综,从而可以起到散热器的作用。
 ====分子枪==== ====分子枪====
-粒子从表面上方几纳米的区域内的随机位置入射,并且速度矢量指向下方。+粒子从表面上方几纳米的区域内的随机位置入射,并且设定速度矢量指向下方。
 ====粒子平移==== ====粒子平移====
 为了节省粒子飞行期间的模拟步骤,粒子被平移到其飞行路径中的第一个撞击点附近,然后将其实际放置到该撞击点附近的模拟Box中。 为了节省粒子飞行期间的模拟步骤,粒子被平移到其飞行路径中的第一个撞击点附近,然后将其实际放置到该撞击点附近的模拟Box中。
行 45: 行 45:
 {{ :adf:cvd001.png?650 }} {{ :adf:cvd001.png?650 }}
  
-将最底层2层 Ge原子创建为 region,名为 Fixed,次2层创建 Region 名为 Thermo,即 Fixed 这些原子将会被固定,而 Thermo 原子将会作为冷却器存在。(创建 Region 操作如果不熟悉,参考:[[adf:creatregion]])+将最底层2层 Ge原子创建为 Region,名为 Fixed,次2层创建 Region 名为 Thermo,即 Fixed 这些原子将会被固定,而 Thermo 原子将会作为冷却器存在。(创建 Region 操作如果不熟悉,参考:[[adf:creatregion]])
  
 {{ :adf:cvd002.png?650 }} {{ :adf:cvd002.png?650 }}
行 61: 行 61:
 {{ :adf:cvd005.png?350 }} {{ :adf:cvd005.png?350 }}
  
-只对Thermo这个区域设置NVT系综(不同系综的设置参考:[[adf:nvtnptnve]])+只对 Thermo 这个区域设置 NVT 系综(不同系综的设置参考:[[adf:nvtnptnve]])
  
 {{ :adf:cvd006.png?350 }} {{ :adf:cvd006.png?350 }}
  
-如此,整个体系将会被Thermo区域保温为接近500K。因为后面正式模拟会采用 fbMC,因此弛豫过程中,我们也同样采用 fbMC(fbMC的参数含义、fbMC本身的物理意义,请参考:[[adf:fbmc2020]]):+如此,整个体系将会被 Thermo 区域保温为接近 500K。因为后面正式模拟会采用 fbMC,因此弛豫过程中,我们也同样采用 fbMC(fbMC 的参数含义、fbMC 本身的物理意义,请参考:[[adf:fbmc2020]]):
  
 {{ :adf:cvd007.png?350 }} {{ :adf:cvd007.png?350 }}
  
-我们特意在 fbMC 阶段使用比恒温器稍低的温度(450 vs 500 K),以避免模拟过程中温度峰值过高。这种选择是合理的,因为我们对系统的化学演化感兴趣。此外,由于撞击粒子流增加了系统的能量,因此在这种情况下保持温度稳定比精确的热力学采样更重要。在其他应用中,fbMC温度和fbMC步长对实际观测到的温度的影响需要用户验证。+我们特意在 fbMC 阶段使用比恒温器稍低的温度(450 vs 500 K),以避免模拟过程中温度峰值过高。这种选择是合理的,因为我们对系统的化学演化感兴趣。此外,由于撞击粒子流增加了系统的能量,因此在这种情况下保持温度稳定比精确的热力学采样更重要。在其他应用中,fbMC 温度和 fbMC 步长对实际观测到的温度的影响需要用户验证。
  
 保存并运行作业。并注意检查弛豫的结果是否符合要求(参考:[[adf:relaxationbeforemd]]) 保存并运行作业。并注意检查弛豫的结果是否符合要求(参考:[[adf:relaxationbeforemd]])
行 83: 行 83:
 点击Yes, new job,**另存一个作业,避免覆盖前面弛豫的作业**。 点击Yes, new job,**另存一个作业,避免覆盖前面弛豫的作业**。
  
-====CVD模拟的参数设置====+====CVD 模拟的参数设置====
 首先调整 MD 和 fbMC 的设置: 首先调整 MD 和 fbMC 的设置:
   * Models → MD → Number of steps: 15000000   * Models → MD → Number of steps: 15000000
行 91: 行 91:
 在现有模型上空创建需要入射的分子,这里是[[adf:O2formolgun|O$_2$链接(点击)]]和[[adf:AlH3formolgun|AlH$_3$链接(点击)]],或直接导入也可(类似前面,复制坐标,在AMSinput窗口直接粘贴)。如果粘贴之后与表面重叠,建议将其用鼠标右键拖出来。 在现有模型上空创建需要入射的分子,这里是[[adf:O2formolgun|O$_2$链接(点击)]]和[[adf:AlH3formolgun|AlH$_3$链接(点击)]],或直接导入也可(类似前面,复制坐标,在AMSinput窗口直接粘贴)。如果粘贴之后与表面重叠,建议将其用鼠标右键拖出来。
  
-Model → region分别为O2和AlH3创建Region:+Model → region 分别为 O2 和 AlH3 创建 Region:
  
 {{ adf:cvd009.png?650 }} {{ adf:cvd009.png?650 }}
  
-Model → Molecule Gun 入射设置(点击两次+,分别设置AlH$_3$、O$_2$的入射参数)如下:+Model → Molecule Gun 入射设置(点击两次+,分别设置 AlH$_3$、O$_2$ 的入射参数)如下:
  
 {{ adf:cvd010.png?450 }} {{ adf:cvd010.png?450 }}
行 104: 行 104:
   * Start step:开始入射,注意与前面fbMC设置的7000保持一致   * Start step:开始入射,注意与前面fbMC设置的7000保持一致
   * Stop step:即停止入射的步数,总步数150万,125万步的时候停止入射,后面25万步退火、充分扩撒、二次反应、演化等   * Stop step:即停止入射的步数,总步数150万,125万步的时候停止入射,后面25万步退火、充分扩撒、二次反应、演化等
-  * Fractional coords box:入射分子初始随机出现的范围,图中设置表示X、Y坐标随机,Z则在Cell之外45-49倍C的区域。+  * Coords sigma:以入射分子/原子的那个region中各个原子的坐标为参考,随机入射的分子/原子的坐标的分布情况,三个量分别代表X、Y、Z的分布变化范围,例如,如果z值为0则表示入射原子的高度与固定为region中的高度一致 
 +  * Fractional coords box:入射分子初始随机出现的范围,图中设置表示X、Y坐标随机,Z则在Cell之外45-49倍C长度的区域。
   * Rotate:允许转动   * Rotate:允许转动
   * Velocity direction:选中两个原子,点击加号,则入射方向为第一个原子指向第二个原子,也可以创建虚原子来指定方向。如果不指定,则方向完全随机   * Velocity direction:选中两个原子,点击加号,则入射方向为第一个原子指向第二个原子,也可以创建虚原子来指定方向。如果不指定,则方向完全随机
行 117: 行 118:
 表示任意粒子,只要跑出z方向±150 C尺寸的范围,即从体系中移除。 表示任意粒子,只要跑出z方向±150 C尺寸的范围,即从体系中移除。
  
-值得注意的是,系综的设置,我们仍然保留了前面弛豫过程的设置,即只是Thermo设置了温度,其他区域的原子则由于有了初始的运动速度、能量等数据,自由演变即可,底部Thermo仍然充当了冷却装置的角色。+值得注意的是,系综的设置,我们仍然保留了前面弛豫过程的设置,即只是Thermo设置了温度,其他区域的原子则由于有了初始的运动速度、能量等数据,自由演变即可,底部Thermo仍然充当了冷却装置的角色,将体系向500K方向冷却
  
 保存作业并运行({{:adf:ge200o25_o2_alh3_fbmccvd.rar|作业的*.ams文件以及生成的轨迹文件下载}}) 保存作业并运行({{:adf:ge200o25_o2_alh3_fbmccvd.rar|作业的*.ams文件以及生成的轨迹文件下载}})
adf/cvd.txt · 最后更改: 2024/06/14 07:30 由 liu.jun

© 2014-2022 费米科技(京ICP备14023855号